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Mechanisms influencing and prediction of tool influence function spots during hemispherical sub-aperture tool polishing on fused silica
半球形子孔刀具抛光熔融石英时刀具影响功能点的影响机理及预测
相关领域
抛光
材料科学
泥浆
光学
化学机械平面化
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计算机科学
复合材料
物理
波长
光电子学
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期刊:Applied Optics 作者:Tayyab Suratwala; Joseph A. Menapace; R. Steele; Lana L. Wong; Gary Tham; et al 出版日期:2020-12-23 |
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