Growth process optimization of ZnO thin film using atomic layer deposition

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标题	Growth process optimization of ZnO thin film using atomic layer deposition 原子层沉积法ZnO薄膜生长工艺优化相关领域材料科学扫描电子显微镜原子层沉积薄膜表面粗糙度衍射图层（电子）分析化学（期刊）薄脆饼沉积（地质）表面光洁度光电子学纳米技术光学复合材料化学生物物理古生物学色谱法沉积物
网址	https://doi.org/10.1088/2053-1591/3/12/126402
DOI	10.1088/2053-1591/3/12/126402 doi
其它	期刊：Materials Research Express 作者：Binbin Weng; Jingyu Wang; Preston R. Larson; Yingtao Liu 出版日期：2016-12-12
求助人	lilin 在 2024-10-31 22:33:52 发布自四川，悬赏 10 积分
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