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Nanogrinding induced surface and deformation mechanism of single crystal β-Ga 2 O 3
β-Ga2O3单晶纳米磨削诱导表面及变形机理
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Shang Gao; Yueqin Wu; Renke Kang; Han Huang 出版日期:2018-02-15 |
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