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MEMS Resonance Test for Mechanical Characterization of Nano-Scale Thin Films
纳米级薄膜力学表征的MEMS共振试验
相关领域
材料科学
微电子机械系统
表征(材料科学)
纳米-
纳米尺度
比例(比率)
纳米技术
共振(粒子物理)
复合材料
量子力学
粒子物理学
物理
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期刊: 作者:H. Yamagiwa; Daisuke Goto; Takahiro Namazu; T. Takeuchi; K. Murakami; et al 出版日期:2010-09-24 |
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