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MEMS Resonance Test for Mechanical Characterization of Nano-Scale Thin Films

材料科学微电子机械系统表征（材料科学）纳米- 纳米尺度比例（比率）纳米技术共振（粒子物理）复合材料量子力学粒子物理学物理

作者

H. Yamagiwa,Daisuke Goto,Takahiro Namazu,T. Takeuchi,K. Murakami,Y. Kawashimo,T. Takano,Keisuke Yoshiki,S. Inoue

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DOI：10.7567/ssdm.2010.h-9-3l

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