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Enhanced Electrical Properties and Stability in IGZO TFTs via Low-Temperature Activation with MgOx Layer
MgOx层低温活化提高IGZO薄膜晶体管的电学性能和稳定性
相关领域
材料科学
薄膜晶体管
阈值电压
图层(电子)
场效应
压力(语言学)
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晶体管
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期刊:ACS Applied Materials & Interfaces 作者:Min Seong Kim; Hyun Jae Kim; Su‐Jin Jung; Youngwook Kim; Sujin Lee; et al 出版日期:2024-07-26 |
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