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Rotary reactor for atomic layer deposition on large quantities of nanoparticles
用于大量纳米粒子原子层沉积的旋转反应器
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期刊:Journal of vacuum science & technology 作者:Jarod A. McCormick; B. L. Cloutier; Alan W. Weimer; Steven M. George 出版日期:2007-01-01 |
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