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标题
RESEARCH ON FABRICATING HIGH-FIDELITY SOFT MASK FOR FLEXIBLE LITHOGRAPHY
柔性光刻用高保真软掩模的制作研究
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网址
https://doi.org/10.1142/9789814749503_0098
DOI
10.1142/9789814749503_0098 doi
其它 期刊：
作者：Xiang-Dong Ye; An-Jiang Cai; Xiao-Guang Ruan; Shihong Guo
出版日期：2016-03-03
求助人
蟹蟹 在 2025-01-03 19:55:52 发布自吉林，悬赏 30 积分
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