Evaluation of Bosch processing and C4F8 plasma deposition at cryogenic temperatures

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标题	[高分] Evaluation of Bosch processing and C4F8 plasma deposition at cryogenic temperatures 低温下Bosch处理和C4F8等离子体沉积的评价相关领域等离子体沉积（地质）等离子体处理材料科学核工程分析化学（期刊）化学核物理学工程类物理环境化学地质学古生物学沉积物
网址	http://dx.doi.org/10.1088/1361-6439/ad7a08 AI链接 hal.sciencedoi.org
DOI	10.1088/1361-6439/ad7a08 doi
求助人	超级傲安在 2025-02-18 13:52:28 发布自江西，悬赏 50 积分
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