Laser-assisted spalling of large-area semiconductor and solid state substrates

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标题	Laser-assisted spalling of large-area semiconductor and solid state substrates 大面积半导体和固态衬底的激光辅助剥落相关领域材料科学剥落半导体激光器表面光洁度复合材料表面粗糙度光学光电子学物理
网址	https://doi.org/10.1557/mrc.2017.136
DOI	10.1557/mrc.2017.136 doi
其它	期刊：MRS Communications 作者：Felix Kaule; M. Swoboda; Christian Beyer; Ralf Rieske; Anas Ajaj; et al 出版日期：2018-02-20
求助人	斯文念波在 2025-01-18 13:54:08 发布自江苏，悬赏 10 积分
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