The Discharge Characteristics of Capacitively Coupled Ar Plasma as the Change of Pressure

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标题	The Discharge Characteristics of Capacitively Coupled Ar Plasma as the Change of Pressure 电容耦合Ar等离子体随气压变化的放电特性相关领域原子物理学温度电子电子密度电子等离子体材料科学氩托尔物理核物理学热力学
网址	https://doi.org/10.1134/s1063780x23600135
DOI	10.1134/s1063780x23600135 doi
其它	期刊：Plasma Physics Reports 作者：Guiqin Yin; Jiajie Wang; Qianghua Yuan 出版日期：2023-06-01
求助人	圆圆在 2024-10-03 20:21:45 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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