A Synthetic Jets Cooling Device Based on Piezoelectric ALN Mems Actuators

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标题	A Synthetic Jets Cooling Device Based on Piezoelectric ALN Mems Actuators 基于压电ALN Mems驱动器的合成射流冷却装置相关领域微电子机械系统执行机构材料科学压电光电子学声学电气工程工程类物理复合材料
网址	https://doi.org/10.1109/mems58180.2024.10439584
DOI	10.1109/mems58180.2024.10439584 doi
其它	期刊：作者：Boyun Zhang; Mingchao Sun; Wei Pang; Chen Sun; Yi Gong; et al 出版日期：2024-01-21
求助人	笑面客在 2024-12-16 23:09:37 发布自美国，悬赏 10 积分
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