Characterization of MOCVD-grown non-stoichiometric SiNx

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标题	Characterization of MOCVD-grown non-stoichiometric SiNx MOCVD生长非化学计量SiNx的表征相关领域材料科学金属有机气相外延蓝宝石 X射线光电子能谱表面粗糙度硅烷体积流量化学计量学分析化学（期刊）化学气相沉积沉积（地质）化学工程图层（电子）纳米技术外延复合材料光学化学激光器物理化学古生物学物理工程类量子力学色谱法沉积物生物
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2008.03.007
DOI	10.1016/j.surfcoat.2008.03.007 doi
求助人	ldld 在 2024-10-10 20:21:11 发布自江西，悬赏 10 积分
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