| 标题 |
 Three-dimensional numerical simulation for anisotropic wet chemical etching process 各向异性湿法化学腐蚀过程的三维数值模拟
相关领域
微电子机械系统
各向同性腐蚀
蚀刻（微加工）
表面微加工
各向异性
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期刊：Molecular Simulation 作者：J.-G. Lee; T. Won 出版日期：2007-06-01 |
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