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标题
High-rate tunable ultrasonic force regulated nanomachining lithography with an atomic force microscope
基于原子力显微镜的高速可调超声力调节纳米加工光刻
相关领域
纳米光刻 材料科学 悬臂梁 制作 平版印刷术 浸笔纳米光刻 纳米技术 蚀刻（微加工） 超声波传感器 反应离子刻蚀 光电子学 复合材料 声学 图层（电子） 替代医学 病理 物理 医学
网址
https://doi.org/10.1088/0957-4484/23/8/085303
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1088/0957-4484/23/8/085303 doi
其它 期刊：Nanotechnology
作者：Li Zhang; Jingyan Dong
出版日期：2012-02-01
求助人
Soft 在 2025-01-20 22:49:09 发布自四川，悬赏 10 积分
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