发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
The etching of CHF3 plasma polymer in fluorine-containing discharges
含氟放电中CHF3等离子体聚合物的刻蚀
相关领域
氟 氟碳化合物 聚合物 X射线光电子能谱 蚀刻（微加工） 反应离子刻蚀 化学 聚合 分析化学（期刊） 等离子体 等离子体刻蚀 等离子体聚合 离子 材料科学 化学工程 有机化学 物理 工程类 量子力学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1116/1.585784
DOI
10.1116/1.585784 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena
作者：Anand J. Bariya; Hongqing Shan; Curtis W. Frank; S. A. Self; J.P. McVittie
出版日期：1991-01-01
求助人
67 在 2025-01-22 14:03:18 发布自浙江，悬赏 10 积分
下载 求助已完成，仅限求助人下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Organic Fluorine: Odd Man Out
  2. Low-temperature reactive ion etching and microwave plasma etching of silicon
  3. Deposition of fluorocarbon film with 1,1,1,2-tetrafluoroethane pulsed plasma polymerization
  4. Reactive-ion-etching (RIE) process in CF4 plasma as a method of fluorine implantation
  5. Microfabrication Technique by Gas Plasma Etching Method
  6. Transparent carbon-fluorine compounds prepared by the heat treatment of pitch fluoride under a fluor...
  7. Influence of Al Surface Modification on Selectivity in Via-Hole Etching Employing CHF3 Plasma
  8. Fluorine Sources and Basic Fluorocarbon Reactions
  9. Nature Of The Silicon And Silicon Dioxide Surfaces During Plasma Etching With Fluorocarbon Containin...
  10. A new type of liquid fluorocarbon prepared by direct fluorination of coal tar pitches
　...点击展开更多...　
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
科研通，让科研之路畅通无阻
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
所所的应助被碧蓝的尔珍采纳，获得30
2秒前
禹念波完成签到 ，获得积分10
3秒前
顾矜的应助被RY文献下载采纳，获得10
4秒前
无言完成签到 ，获得积分10
4秒前
5秒前
orixero的应助被feedyoursoul采纳，获得10
6秒前
9秒前
10秒前
鱼儿想游发布了新的文献求助10
11秒前
星辰大海的应助被清风明月采纳，获得10
14秒前
春国的应助被Sandstorm采纳，获得10
14秒前
14秒前
nano发布了新的文献求助10
16秒前
Sun发布了新的文献求助10
16秒前
17秒前
19秒前
夕阳兰草的应助被Dinse采纳，获得10
21秒前
21秒前
小木子发布了新的文献求助10
21秒前
36456657的应助被shen_ting采纳，获得10
22秒前
大模型的应助被兰彻采纳，获得10
23秒前
Lee发布了新的文献求助10
24秒前
西西弗斯完成签到，获得积分10
24秒前
桐桐的应助被科研通管家采纳，获得10
24秒前
SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10
24秒前
今后的应助被科研通管家采纳，获得10
24秒前
深情安青的应助被科研通管家采纳，获得30
24秒前
所所的应助被科研通管家采纳，获得10
25秒前
25秒前
爆米花的应助被科研通管家采纳，获得10
25秒前
在水一方的应助被科研通管家采纳，获得10
25秒前
zp_phd完成签到，获得积分10
25秒前
TL发布了新的文献求助10
25秒前
洺全完成签到，获得积分10
27秒前
在水一方的应助被古月博士采纳，获得10
28秒前
28秒前
aminosi完成签到，获得积分10
28秒前
tq发布了新的文献求助10
30秒前
30秒前
高分求助中
Production Logging: Theoretical and Interpretive Elements 2000
Very-high-order BVD Schemes Using β-variable THINC Method 1200
BIOLOGY OF NON-CHORDATES 1000
进口的时尚——14世纪东方丝绸与意大利艺术 Imported Fashion：Oriental Silks and Italian Arts in the 14th Century 800
Autoregulatory progressive resistance exercise: linear versus a velocity-based flexible model 550
Zeitschrift für Orient-Archäologie 500
The Collected Works of Jeremy Bentham: Rights, Representation, and Reform: Nonsense upon Stilts and Other Writings on the French Revolution 320
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 物理化学 催化作用 细胞生物学 免疫学 冶金
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3351960
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2977282
关于积分的说明 8678669
捐赠科研通 2658284
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1455643
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 674014
邀请新用户注册赠送积分活动 664557
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通