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 A review on actuation and sensing techniques for MEMS-based microgrippers 基于MEMS的微夹持器驱动与传感技术综述
相关领域
小型化
微电子机械系统
执行机构
电容感应
灵活性（工程）
压阻效应
精密工程
机械工程
材料科学
电气工程
计算机科学
电子工程
纳米技术
工程类
数学
统计
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期刊：Journal of Micro-Bio Robotics 作者：Sijie Yang; Qingsong Xu 出版日期：2017-05-30 |
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