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 Ultraprecision Machining Utilizing Numerically Controlled Scanning of Localized Atmospheric Pressure Plasma 局部大气压等离子体数控扫描超精密加工
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Kazuya Yamamura; Yasuhisa Sano; Masafumi Shibahara; Kazuto Yamauchi; Hidekazu Mimura; et al 出版日期：2006-10-01 |
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