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Stress engineering with AlN/GaN superlattices for epitaxial GaN on 200 mm silicon substrates using a single wafer rotating disk MOCVD reactor
使用单晶片旋转盘MOCVD反应器在200 mm硅衬底上外延GaN的AlN/GaN超晶格的应力工程
相关领域
材料科学
金属有机气相外延
外延
薄脆饼
光电子学
超晶格
硅
压力(语言学)
复合材料
语言学
哲学
图层(电子)
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期刊:Journal of materials research/Pratt's guide to venture capital sources 作者:Jie Su; E. Armour; Balakrishnan Krishnan; Soo Min Lee; George D. Papasouliotis 出版日期:2015-08-07 |
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