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 Effect of RF bias power on discharge mode transition and its hysteresis in inductively coupled plasmas 射频偏置功率对电感耦合等离子体放电模式转变及其滞后效应的影响
相关领域
磁滞
物理
等离子体
原子物理学
感应耦合等离子体
电离
温度电子
凝聚态物理
离子
核物理学
量子力学
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