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标题
A Model of Low‐Temperature Wafer Bonding And Its Applications
低温晶圆键合模型及其应用
相关领域
阳极连接 退火（玻璃） 材料科学 晶片键合 薄脆饼 热压连接 蓝宝石 硅 蓝宝石上的硅 复合材料 直接结合 绝缘体上的硅 图层（电子） 光电子学 光学 激光器 物理
网址
https://doi.org/10.1149/1.1836715
DOI
10.1149/1.1836715 doi
其它 期刊：Journal of the Electrochemical Society
作者：Qiaoling Tong; U. Gösele
出版日期：1996-05-01
求助人
笑面客 在 2024-07-22 22:31:45 发布自美国，悬赏 10 积分
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