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 A MEMS Capacitive Resonator as an Acoustic Sensor for Photoacoustic Spectroscopy 作为光声光谱声学传感器的MEMS电容谐振器
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期刊： 作者：Yonggang Yin; Danyang Ren; Yuqi Wang; D. Gao; Junhui Shi 出版日期：2023-10-29 |
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