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Single-pulse femtosecond laser ablation of monocrystalline silicon: A modeling and experimental study
单脉冲飞秒激光烧蚀单晶硅的模拟与实验研究
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期刊:Applied Surface Science 作者:Chong Chen; Fan Zhang; Zhou Yang; Xin Xiong; Bing‐Feng Ju; et al 出版日期:2022-02-01 |
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