Research on low-loss silicon nitride waveguide based on high-confinement silica cladding

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标题	Research on low-loss silicon nitride waveguide based on high-confinement silica cladding 基于高限制二氧化硅包层的低损耗硅氮光路研究相关领域材料科学氮化硅机车硅混合硅激光器光电子学包层（金属加工）波导管应变硅氮化物硅光子学光子集成电路制作退火（玻璃）光子学图层（电子）晶体硅纳米技术复合材料非晶硅医学替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1117/12.3023646
DOI	10.1117/12.3023646 doi
其它	期刊：作者：Jiaxu Chen; Liangsen Feng; Wei Li 出版日期：2024-03-18
求助人	积极人偶酱在 2024-09-04 17:03:16 发布自新加坡，悬赏 20 积分
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