Machining of Silicon Carbide Wafers

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标题	Machining of Silicon Carbide Wafers 碳化硅晶片的加工相关领域碳化硅研磨机械加工材料科学薄脆饼钻石硅金刚石研磨碳化物冶金光电子学砂轮
网址	https://doi.org/10.1109/ietc54973.2022.9796914
DOI	10.1109/ietc54973.2022.9796914 doi
其它	期刊：2022 Intermountain Engineering, Technology and Computing (IETC) 作者：Madeline Thompson; Bradley Ferguson; Gregory N. Nielson; Stephen M. Schultz 出版日期：2022-05-01
求助人	司空凡在 2024-05-25 16:36:03 发布自河南，悬赏 10 积分
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