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Modulation of Structural, Electronic, and Optical Properties of Titanium Nitride Thin Films by Regulated In Situ Oxidation
调节原位氧化对氮化钛薄膜结构、电子和光学性质的调节
相关领域
材料科学
锡
氮化钛
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薄膜
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分析化学(期刊)
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期刊:ACS Applied Materials & Interfaces 作者:Manosi Roy; Kaushik Sarkar; Jacob Som; M. A. Pfeifer; V. Craciun; et al 出版日期:2023-01-10 |
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