Energy-enhanced deposition of copper thin films by bipolar high power impulse magnetron sputtering

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标题	Energy-enhanced deposition of copper thin films by bipolar high power impulse magnetron sputtering 双极高功率脉冲磁控溅射能量增强沉积铜薄膜相关领域高功率脉冲磁控溅射材料科学溅射沉积薄膜卢瑟福背散射光谱法分析化学（期刊）纳米压痕脉冲直流微观结构物理气相沉积溅射复合材料纳米技术化学色谱法
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.12.079
DOI	10.1016/j.surfcoat.2018.12.079 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Ioana–Laura Velicu; Gabriela-Theodora Ianoş; C. Poroşnicu; Ilarion Mihăilă; I. Burducea; et al 出版日期：2019-02-01
求助人	一番星在 2024-08-23 10:31:44 发布自广东，悬赏 10 积分
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