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标题
Solid-state-laser driven plasma produced from laser-preformed tin microdroplets for high-brightness EUV
用于高亮度EUV的激光预制tin微滴的固体激光驱动等离子体
相关领域
极紫外光刻 极端紫外线 激光器 等离子体 纳米光刻 亮度 波长 材料科学 光学 光电子学 千分尺 固态 物理 制作 工程物理 病理 冶金 医学 替代医学 量子力学
网址
DOI
10.1364/euvxray.2022.eth5a.7 doi
其它 期刊:Optica High-brightness Sources and Light-driven Interactions Congress 2022
作者:O. O. Versolato; Ruben Schupp; L. Behnke; Yahia Mostafa; Zoi Bouza; et al
出版日期:2022-01-01
求助人
勤恳的仰 在 2025-04-24 10:56:00 发布自广东,悬赏 10 积分
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