High-rate growth of gallium oxide films by plasma-enhanced thermal oxidation for solar-blind photodetectors

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标题	High-rate growth of gallium oxide films by plasma-enhanced thermal oxidation for solar-blind photodetectors 等离子体增强热氧化法高速生长太阳盲光电探测器用氧化镓薄膜相关领域薄膜热氧化材料科学化学气相沉积氧化物镓太阳能电池等离子体分子束外延光电子学表面粗糙度分析化学（期刊）化学工程外延纳米技术化学复合材料冶金图层（电子）物理量子力学色谱法工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.157162
DOI	10.1016/j.apsusc.2023.157162 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Tong Su; Bohan Xiao; Zikang Ai; Lingjie Bao; Wencheng Chen; et al 出版日期：2023-03-31
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