Thermal and Electrical Analysis of the Electrostatic Chuck for the Etch Equipment

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标题	Thermal and Electrical Analysis of the Electrostatic Chuck for the Etch Equipment 蚀刻设备用静电卡盘的热电分析相关领域薄脆饼材料科学电压热的电气工程托尔蚀刻（微加工）光电子学工程类机械工程电子工程机械复合材料物理气象学热力学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1109/tsm.2023.3301024
DOI	10.1109/tsm.2023.3301024 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Tae Woong Yoon; Minsuk Choi; Sang Jeen Hong 出版日期：2023-08-02
求助人	Bennyz 在 2025-04-04 15:02:17 发布自江苏，悬赏 10 积分
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