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标题
Dual-band fiber-chip grating coupler in a 300 mm silicon-on-insulator platform and 193 nm deep-UV lithography
在300 mm绝缘体上硅平台和193 nm深紫外光刻中的双波段光纤芯片光栅耦合器
相关领域
栅栏 光学 材料科学 平版印刷术 电子束光刻 绝缘体上的硅 光电子学 光纤布拉格光栅 光刻 炸薯条 浸没式光刻 衍射光栅 硅 计算机科学 物理 抵抗 波长 电信 纳米技术 图层（电子）
网址
https://opg.optica.org/viewmedia.cfm?URI=ol-46-3-617&seq=0
DOI
10.1364/ol.414860 doi
其它 期刊：Optics Letters
作者：David González-Andrade; Diego Pérez-Galacho; Miguel Montesinos-Ballester; Xavier Le Roux; Eric Cassan; et al
出版日期：2020-12-25
求助人
paul 在 2025-03-23 19:21:14 发布自陕西，悬赏 10 积分
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