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标题
A 10 nm Short Channel MoS2 Transistor without the Resolution Requirement of Photolithography
一种不需要光刻分辨率的10 nm短沟道MoS2晶体管
相关领域
材料科学 光刻 晶体管 光电子学 平版印刷术 制作 抵抗 电子束光刻 频道（广播） 纳米技术 电气工程 电压 图层（电子） 病理 工程类 替代医学 医学
网址
https://doi.org/10.1002/aelm.202100543
DOI
10.1002/aelm.202100543 doi
其它 期刊：Advanced electronic materials
作者：Fan Wu; Jie Ren; Yi Yang; Zhaoyi Yan; He Tian; et al
出版日期：2021-10-19
求助人
斯文的可冥 在 2024-10-30 16:37:18 发布自湖南，悬赏 10 积分
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