Conditions for laser-induced plasma to effectively remove nano-particles on silicon surfaces

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标题	Conditions for laser-induced plasma to effectively remove nano-particles on silicon surfaces 激光诱导等离子体有效去除硅表面纳米颗粒的条件相关领域激光器材料科学等离子体冲击波硅辐照粒子（生态学）休克（循环）基质（水族馆）原子物理学光学光电子学机械物理医学海洋学量子力学核物理学内科学地质学
网址	https://doi.org/10.1088/1674-1056/25/9/095204
DOI	10.1088/1674-1056/25/9/095204 doi
其它	期刊：Chinese Physics B 作者：Jinghua Han; Li Luo; Yubo Zhang; Ruifeng Hu; Guoying Feng 出版日期：2016-08-30
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