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 Fabrication of complex 3-dimensional patterned structures on a ∼10 nm scale from a single master pattern by secondary sputtering lithography 通过二次溅射光刻从单个主图案制造10 nm尺度的复杂三维图案化结构
相关领域
平版印刷术
材料科学
溅射
纳米尺度
制作
纳米技术
蚀刻（微加工）
纳米结构
图层（电子）
支柱
光电子学
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医学
替代医学
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期刊：Nanoscale 作者：Hwan‐Jin Jeon; Hae‐Wook Yoo; Eun Hyung Lee; Sung Woo Jang; Jong-Seon Kim; et al 出版日期：2013-01-01 |
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