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标题
Material Parameter Extraction for Complex AlScN Thin Film Using Dual Mode Resonators in Combination with Advanced Microstructural Analysis and Finite Element Modeling
结合先进微结构分析和有限元建模的双模谐振器复杂AlScN薄膜材料参数提取
相关领域
材料科学 压电 谐振器 有限元法 薄膜 微观结构 复合材料 从头算 凝聚态物理 光学 光电子学 结构工程 纳米技术 物理 量子力学 工程类
网址
https://doi.org/10.1002/aelm.201800776
DOI
10.1002/aelm.201800776 doi
其它 期刊：Advanced Electronic Materials
作者：Fazel Parsapour; Vladimir Pashchenko; Nicolas Kurz; C.S. Sandu; Thomas LaGrange; et al
出版日期：2019-03-13
求助人
左诗云 在 2024-12-24 21:46:09 发布自上海，悬赏 10 积分
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