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P‐21: The Effect of Thermal Annealing Sequence on the Performance of Self‐Aligned Top‐Gate a‐IGZO TFTs
P-21:热退火顺序对自对准顶栅a-IGZO TFT性能的影响
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期刊:SID Symposium Digest of Technical Papers 作者:Hongjuan Lu; Letao Zhang; Xiaoliang Zhou; Xiaodong Zhang; Ting Liang; et al 出版日期:2017-05-01 |
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