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Real-Time Measurement of the Evolution of Growth Facets during SiC PVT Bulk Growth Using 3-D X-Ray Computed Tomography
用三维X射线计算机断层扫描实时测量SiC PVT体生长过程中生长面的演变
相关领域
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期刊:Materials science forum 作者:Georg Neubauer; Michael Salamon; Norman Uhlmann; Peter J. Wellmann 出版日期:2014-02-26 |
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