发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
First results of EUV-scanner compatibility tests performed on novel 'high-NA' reticle absorber materials
对新型“高钠”标线吸收材料进行的EUV扫描仪兼容性测试的第一个结果
相关领域
极紫外光刻 十字线 放气 薄脆饼 材料科学 极端紫外线 扫描仪 光掩模 光学 光电子学 抵抗 纳米技术 化学 图层（电子） 物理 激光器 有机化学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2600928
DOI
10.1117/12.2600928 doi
其它 期刊：
作者：Jetske Stortelder; Robert P. Ebeling; Corné Rijnsent; Michel van Putten; Véronique de Rooij-Lohmann; et al
出版日期：2021-10-01
求助人
小张真的困啦 在 2024-10-10 15:13:20 发布自中国，悬赏 20 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. An analysis of EUV-resist outgassing measurements
  2. Development and performance of EUV pellicles
  3. Quantification of EUV resist outgassing
  4. Status of EUV lithography at IMEC
  5. Quantitative measurement of EUV resist outgassing
  6. EUV resist outgassing: scaling to HVM intensity
  7. Full field EUV lithography turning into a reality at IMEC
  8. Status of EUV reticle handling solution in meeting 32 nm HP EUV lithography
  9. Recent Progress in EUV Resist Outgas Research at EIDEC
  10. Automatic sub-micron mask and reticle inspection
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 2天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    15:13:24 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    15:13:21 科研通AI机器人（日本 东京）收到请求，开始寻找文献
    15:13:21 已向机器人发送请求

  • 2天前

    小张真的困啦 小张真的困啦 求助人 Lv13 发起了本次求助

更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
香蕉觅云的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
汉堡包的应助被科研通管家采纳，获得30
刚刚
烟花的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
小马甲的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
烟花的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
华仔的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
小蘑菇的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
刚刚
InfoNinja的应助被科研通管家采纳，获得30
刚刚
赘婿的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
乐乐的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
Ava的应助被科研通管家采纳，获得40
1秒前
FashionBoy的应助被新陈采纳，获得10
1秒前
1秒前
bkagyin的应助被小火龙采纳，获得10
1秒前
诸乘风完成签到，获得积分10
2秒前
个性竺发布了新的文献求助10
4秒前
sheuuu发布了新的文献求助10
4秒前
Ava的应助被壮观的梦易采纳，获得10
5秒前
李爱国的应助被yt采纳，获得10
6秒前
7秒前
鸢尾发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
7秒前
Lydia完成签到，获得积分10
8秒前
9秒前
10秒前
顾矜的应助被LiuJinhui采纳，获得30
10秒前
10秒前
Yc_发布了新的文献求助10
12秒前
新陈发布了新的文献求助10
13秒前
鸢尾完成签到，获得积分10
13秒前
小火龙发布了新的文献求助10
14秒前
石友瑶发布了新的文献求助20
14秒前
derrrrrsin发布了新的文献求助10
15秒前
隐形曼青的应助被个性竺采纳，获得10
16秒前
韦威风发布了新的文献求助10
16秒前
魔幻的向松完成签到，获得积分10
17秒前
高分求助中
Exploring Mitochondrial Autophagy Dysregulation in Osteosarcoma: Its Implications for Prognosis and Targeted Therapy 4000
Impact of Mitophagy-Related Genes on the Diagnosis and Development of Esophageal Squamous Cell Carcinoma via Single-Cell RNA-seq Analysis and Machine Learning Algorithms 2000
Migration and Wellbeing: Towards a More Inclusive World 1200
How to Create Beauty: De Lairesse on the Theory and Practice of Making Art 1000
Evolution 1000
Gerard de Lairesse : an artist between stage and studio 670
On the Refined Urban Stormwater Modeling 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 材料科学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 物理化学 催化作用 免疫学 细胞生物学 电极
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 2969411
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2631972
关于积分的说明 7090374
捐赠科研通 2265439
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1201378
版权声明 591450
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 587482
Copyright © 2020-2024 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：826996720【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通