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 Precise Etching Technique of Ultra-Thin Al2O3 Film Using BCl3 Chemistry BCl3化学对超薄Al2O3薄膜的精密刻蚀技术
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期刊： 作者：Tian Cheng; Litian Xu; Yuhao Li; Xuehua Wang 出版日期：2024-03-17 |
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