Thermal Versus Plasma-Enhanced ALD: Growth Kinetics and Conformality

待确认

文献求助详情

标题	Thermal Versus Plasma-Enhanced ALD: Growth Kinetics and Conformality 热与等离子体增强ALD：生长动力学和共形性相关领域原子层沉积动力学等离子体锡材料科学热的沉积（地质）增长率化学工程化学图层（电子）纳米技术热力学冶金物理古生物学几何学数学量子力学沉积物生物工程类
网址	https://doi.org/10.1149/1.2979999
DOI	10.1149/1.2979999 doi
其它	期刊：ECS Transactions 作者：Christophe Detavernier; Jolien Dendooven; Davy Deduytsche; Jan Musschoot 出版日期：2008-10-03
求助人	落寞松鼠在 2024-11-07 11:13:02 发布自山东，悬赏 10 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

求助 / 应助时间线

请等待求助人确认

已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。
2小时前

xiaocui Lv43 上传了文件

待审核 detavernier2008.pdf (333.15 KB)
2小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

11:13:07 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

11:13:02 科研通AI机器人（中国香港）收到请求，开始寻找文献

11:13:02 已向机器人发送请求
2小时前

落寞松鼠求助人 Lv1 发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 无花果上传了应助文件

刚刚; Ler完成签到，获得积分10

1秒前; 丘比特上传了应助文件

1秒前; 冷静的如音发布了新的文献求助10

2秒前; zhu完成签到，获得积分10

3秒前; pcr163上传了应助文件

3秒前; LC发布了新的文献求助10

6秒前; 斯文败类上传了应助文件

6秒前; OO发布了新的文献求助30

7秒前; 慕青的应助被夕风残照采纳，获得10

8秒前; 研友_VZG7GZ的应助被文子采纳，获得10

9秒前; 叁零完成签到，获得积分10

12秒前; 小白完成签到，获得积分10

12秒前; 思源上传了应助文件

15秒前; leyellows完成签到，获得积分10

17秒前; 欣喜宛亦发布了新的文献求助10

19秒前; 善学以致用的应助被文子采纳，获得10

22秒前; yhx完成签到，获得积分10

23秒前; 称心鸵鸟完成签到，获得积分10

24秒前; 迷人的爆米花的应助被yuko采纳，获得10

26秒前; 香蕉觅云上传了应助文件

27秒前; 大力的飞莲完成签到，获得积分10

30秒前; Akim上传了应助文件

31秒前; 远了个方发布了新的文献求助30

31秒前; 懵懂完成签到，获得积分10

33秒前; 英俊的铭的应助被一站到底采纳，获得10

34秒前; 协和_子鱼完成签到，获得积分0

36秒前; 阿鑫完成签到，获得积分10

37秒前; aduo发布了新的文献求助10

37秒前; 迷人的爆米花上传了应助文件

38秒前; 怕孤单的如风完成签到，获得积分10

38秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

40秒前; 吉不二完成签到，获得积分10

42秒前; 科目三上传了应助文件

44秒前; cjj完成签到，获得积分10

45秒前; 冷傲的白卉发布了新的文献求助10

47秒前; pcr163上传了应助文件

49秒前; mahuahua完成签到，获得积分10

49秒前; 执着冷雁完成签到，获得积分10

49秒前; 852上传了应助文件

50秒前