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 Optimization of the process parameters for the AlN crystal growth in the PVT method through an improved numerical simulation considering partial pressure of gas phases 考虑气相分压的PVT法AlN晶体生长工艺参数优化
相关领域
材料科学
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期刊：CrystEngComm 作者：Peng Cheng; Xiao Yao; Xinyang Miao; S. W. Chen; Qifang Lu; et al 出版日期：2024-01-01 |
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