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 Suppression of oxygen and carbon impurity deposition in the thermal system of Czochralski monocrystalline silicon 直拉单晶硅热系统中氧、碳杂质沉积的抑制
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期刊：Journal of Semiconductors 作者：Jing Zhang; Ding Liu; Yani Pan 出版日期：2020-09-28 |
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