High-accuracy spectral interferometer with multi-Fabry–Perot Etalon for thickness measurement of the silicon wafer

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标题	High-accuracy spectral interferometer with multi-Fabry–Perot Etalon for thickness measurement of the silicon wafer 用于硅片厚度测量的多法布里-珀罗标准具高精度光谱干涉仪相关领域法布里-珀罗干涉仪光学干涉测量材料科学薄脆饼硅光电子学物理波长
网址	https://doi.org/10.1016/j.optcom.2021.127346
DOI	10.1016/j.optcom.2021.127346 doi
其它	期刊：Optics Communications 作者：Meiyun Chen; Shuiling Pang; Jinglun Zhou; Heng Wu; Hirokazu Matsumoto; et al 出版日期：2021-08-06
求助人	Airy 在 2024-10-23 20:50:13 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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