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标题
A 2 D high accuracy slope measuring system based on a Stitching Shack Hartmann Optical Head
基于拼接Hartmann光学头的二维高精度坡度测量系统
相关领域
图像拼接 光学 计量学 极紫外光刻 物理 平版印刷术 激光器 自适应光学
网址
https://doi.org/10.1364/oe.22.002770
DOI
10.1364/oe.22.002770 doi
其它 期刊：Optics Express
作者：Mourad Idir; Konstantine Kaznatcheev; Guillaume Dovillaire; Jérôme Legrand; Rakchanok Rungsawang
出版日期：2014-01-30
求助人
Tayzon 在 2024-10-26 14:29:05 发布自吉林，悬赏 10 积分
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