Advances in high-performance MEMS pressure sensors: design, fabrication, and packaging

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标题	Advances in high-performance MEMS pressure sensors: design, fabrication, and packaging 高性能MEMS压力传感器的进展：设计、制造和封装相关领域压力传感器微电子机械系统制作数码产品材料科学炸薯条电子工程压力测量电子包装纳米技术电气工程机械工程工程类医学替代医学病理
网址	https://www.nature.com/articles/s41378-023-00620-1.pdf
DOI	10.1038/s41378-023-00620-1 doi
其它	期刊：Microsystems & Nanoengineering 作者：Xiangguang Han; Mimi Huang; Zutang Wu; Yi Gao; Yong Xia; et al 出版日期：2023-12-19
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