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标题
Optimization of polishing fluid composition for single crystal silicon carbide by ultrasonic assisted chemical-mechanical polishing
超声辅助化学机械抛光单晶碳化硅抛光液成分的优化
相关领域
抛光 材料科学 化学机械平面化 磨料 表面粗糙度 碳化硅 复合材料 碳化物 表面光洁度
网址
https://doi.org/10.1038/s41598-024-77598-x
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1038/s41598-024-77598-x doi
其它 期刊：Scientific Reports
作者：Linzheng Ye; Jialong Wu; Xijing Zhu; Yao Liu; Wenlong Li; et al
出版日期：2024-10-30
求助人
感动的听荷 在 2024-12-20 22:02:28 发布自吉林，悬赏 10 积分
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