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 Influence of coating parameters on the structure and properties of Al2O3 layers reactively deposited by means of pulsed magnetron sputtering 涂层参数对脉冲磁控溅射反应沉积Al2O3层结构和性能的影响
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：O. Zywitzki; G. Hoetzsch 出版日期：1996-12-01 |
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