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标题
Enhanced inverse problem solution in angle-resolved scatterometry using a combination of library search and particle swarm algorithm
基于库搜索和粒子群算法的角分辨散射测量逆问题求解
相关领域
粒子群优化 反向 群体行为 算法 反问题 粒子（生态学） 计算机科学 数学 人工智能 几何学 数学分析 地质学 海洋学
网址
https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2025.112424
DOI
10.1016/j.optlastec.2025.112424 doi
其它 期刊：Optics & Laser Technology
作者：Dekun Yang; Wei Liang; Shizhao Wang; Wei Shen; Jiantao Zhou; et al
出版日期：2025-01-09
求助人
在郑州 在 2025-01-17 20:41:42 发布自湖北，悬赏 10 积分
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