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标题
Field enhanced diffusion of nitrogen and boron in 4H–silicon carbide
氮和硼在4H-碳化硅中的场增强扩散
相关领域
掺杂剂 退火（玻璃） 碳化硅 材料科学 热扩散率 离子键合 硼 兴奋剂 硅 扩散 分析化学（期刊） 宽禁带半导体 氮气 离子 化学 光电子学 冶金 热力学 物理 有机化学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1063/1.1604956
DOI
10.1063/1.1604956 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：G. J. Phelps; E.G. Chester; C. Mark Johnson; Nicolas G. Wright
出版日期：2003-09-18
求助人
玺白白 在 2025-01-16 23:13:23 发布自广东，悬赏 10 积分
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