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标题
Deposition of nanostructured crystalline alumina thin film by twin targets reactive high power impulse magnetron sputtering
双靶反应高功率脉冲磁控溅射沉积纳米晶氧化铝薄膜
相关领域
材料科学 高功率脉冲磁控溅射 分析化学（期刊） 溅射 薄膜 X射线光电子能谱 微晶 溅射沉积 扫描电子显微镜 氩 基质（水族馆） 化学工程 纳米技术 化学 冶金 复合材料 工程类 地质学 有机化学 海洋学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2018.05.153
DOI
10.1016/j.apsusc.2018.05.153 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Guangxue Zhou; Langping Wang; Xiaofeng Wang; Yonghao Yu
出版日期：2018-05-29
求助人
流年羽 在 2024-12-12 15:37:50 发布自山东，悬赏 10 积分
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